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μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。
德国NanoFocus μsurf cylinder机台是世界上唯一的一款专为测量桶状内壁设计的非接触式三维表面测量仪，并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力，被世界顶级的汽车厂商所应用。
德国NanoFocus μsurf cylinder机台是世界上唯一的一款专为测量桶状内壁设计的非接触式三维表面测量仪，并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力，被世界顶级的汽车厂商所应用。
应用
μsurf系列用来测量汽车引擎缸体内部(发动机气缸内壁)表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析(磨损分析、缺陷分析)，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。有利于提高成形性，改善外观以及涂漆性能，降低磨损，提高效率
产品特性：
（1）耐用可靠
（2）无损测量
（3）光学分辨率高
（4）速度快，数秒内完成测量
（5）真实的3D数据
产品功能：
（1）纹理分析（角度分析）
（2）粗糙度计算符合DIN EN ISO标准
（3）计算三维表面粗糙度参数
（4）磨损分析，缺陷检测和体积参数
技术参数
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间：5~10秒
测量原理：非接触、共聚焦
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物镜倍数
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10X
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20X
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50X
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单次测量面积（um）
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1100*1100
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550*550
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220*220
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NA值
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0.3
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0.45/0.6
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0.8
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工作距离（mm）
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10.1
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3.1/0.9
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1
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Z轴精度（nm）
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20
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<10
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<2
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XY轴精度（um）
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1.9
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0.95
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0.38
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计算机：高性能计算机控制系统，功能全面的软件，有拼接功能，
工作电源：100-240V, 50-60Hz, input<45W
外型尺寸：高490mm，特殊转接环直径280mm
集成箱尺寸（包含主机，系统控制器，电子模块等）：540*710*795mm
重量：11KG
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
usurf cylinder是一款为汽车行业度身定做的机台设备，该产品还可以根据客户需求进行自动编程，实现全自动化的拼接测量，并且自动生成测试报告和相关数据。目前大众、奔驰、宝马等汽车行业巨头都在使用该设备，由于精度高，操作简便，又是基于发动机引擎定制的机台，可操作性很强，钢桶内壁的测量始终是一个技术难关，现在usurf cylinder的研发顿时解决了这个技术难题，使得发动机技术部门的工程师只需要进行几步简单的操作即可完成测量。